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星期 一

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真空泵的端盖密封面,依靠密封垫或密封圈实现密封。长期使用后,密封面可能出现划伤、变形,密封垫老化,出现漏气。端盖密封面损伤时,泵的抽气性能下降,可能有油雾渗出。真空泵维修时,拆下端盖,检查密封面状态。表面划伤轻微时,研磨修复;损伤

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真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以

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真空泵维修前,先到现场勘察设备状态。勘察内容包括,查看泵体外观有无损伤、油迹,观察安装基础情况,了解设备的运行环境和工艺用途。与现场操作人员沟通,询问故障出现的时间、现象、频率,以及故障前后的操作情况。记录设备铭牌信息,型号、编号

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数显真空计的显示设置,包括压力单位、量程、分辨率、背光等选项。设置时,按照说明书操作,进入设置菜单,选择需要的参数。压力单位根据使用习惯和工艺要求选择,比如帕、千帕、毫巴等。量程设置与仪表的测量范围匹配。背光设置根据现场光线调整,

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真空计点检卡的设计,用于规范日常检查。点检卡内容包括,仪表编号、检查项目、检查周期、检查标准、检查记录等。检查项目,读数显示、探头状态、连接、固定、清洁等。点检卡设计,项目清晰,操作方便。点检时,逐项检查,记录结果。异常情况,备注

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