上海辰仪测量技术有限公司
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2026-10
真空泵维修现场的规范管理,有助于提升维修质量和效率。维修区域保持整洁,工具、零件分类摆放,方便取用。拆解下来的零件做好标识,避免混淆。维修过程中,保持工作台清洁,防止杂质混入零件。使用完的工具及时归位。废油、废液收集处理,不随意倾
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2026-10
真空泵的地脚螺栓和基础,是设备安装的重要组成部分。地脚螺栓松动,设备运行时振动增大。检查地脚螺栓的紧固状态,松动时按规定扭矩紧固。检查基础有无开裂、沉降,基础损坏时加固处理。垫铁、减震垫的状态,检查有无老化、移位。真空泵维修后,检
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2026-10
真空泵长时间停机封存,再次启用时容易出现无法启动、真空衰减的故障,这类闲置设备重启前的检测维护,也是真空泵维修服务覆盖的场景之一。设备长期存放,泵内部残留油液会老化结胶,粘连旋片或者转子;密封件长期静置发生老化变形;潮湿环境还会造
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2026-10
真空泵的油位计用于观察泵油液位,油位过高或过低都会影响泵的运行。油位计长期使用后,可能出现视窗雾化、裂纹、密封不良漏油等问题。真空泵维修时,检查油位计的状态,视窗模糊看不清油位时,拆下清洁或更换。油位计密封圈老化漏油时,更换密封圈
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2026-10
真空泵的端盖密封面,依靠密封垫或密封圈实现密封。长期使用后,密封面可能出现划伤、变形,密封垫老化,出现漏气。端盖密封面损伤时,泵的抽气性能下降,可能有油雾渗出。真空泵维修时,拆下端盖,检查密封面状态。表面划伤轻微时,研磨修复;损伤
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2026-10
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控:电容规测腔体压力(1~10⁻²Pa),电离规监控等离子体区(10⁻²~10⁻⁵Pa)。ALD设备要求真空计耐腐蚀(如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规)。数据采样率需>10Hz以
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