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上海高纯度真空计生产企业 上海辰仪测量技术供应
6.麦克劳真空计麦克劳真空计，通过压缩气体测量压力，适用于高真空和超高真空范围。原理：利用气体压缩后的液柱高度差测量压力。测量范围：10⁻⁶Torr到10⁻³Torr。优点：精度高，无需校准。缺点：操作复杂，响应慢。应用：实验室高
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上海皮拉尼真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应
8.复合真空计复合真空计结合多种测量技术，适用于从粗真空到超高真空的范围。原理：通常结合皮拉尼真空计和电离真空计。测量范围：10⁻¹⁰Torr到1000Torr。优点：测量范围广，适用性强。缺点：成本较高。应用：多功能真空系统。9
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上海高精度真空计设备公司 上海辰仪测量技术供应
真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低意味着真空度高。用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本书所述压
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上海高纯度真空计原厂家 上海辰仪测量技术供应
3.电离真空计电离真空计通过电离气体分子来测量压力，适用于高真空和超高真空范围。（1）热阴极电离真空计原理：利用热阴极发射电子电离气体分子，通过离子电流测量压力。测量范围：10⁻¹⁰Torr到10⁻³Torr。优点：精度高、测量范
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上海真空计生产厂家 上海辰仪测量技术供应
真空计在半导体工艺中的应用刻蚀机需多规联合监控：电容规测腔体压力（1~10⁻²Pa），电离规监控等离子体区（10⁻²~10⁻⁵Pa）。ALD设备要求真空计耐腐蚀（如Al₂O₃镀膜用氟化钇涂层电离规）。数据采样率需>10Hz以
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