光谱共焦位移传感器——Multipoints多点式传感器
此多点传感器可定制为：分布12个测量点，以覆盖控制表面的关键区域。
可同时使用一个、多个或全部12个测量通道进行距离或厚度测量，从而确保产线高速测量以控制更重要的表面。
Multipoints多点式传感器——配置
可配置的控制器：Prima2、Prima4、Multima
可配置的光学笔：点光谱测头(Everest系列、CL-MG系列、OP系列、ENDO系列)、非标准定制测头
Multipoints多点式传感器——技术特点
以12点的版本为例，此多点传感器可分布12个测量点，以覆盖控制表面的关键区域；
可同时使用一个、多个或全部12个测量通道进行距离或厚度测量，从而确保产线高速测量以控制更重要的表面；
对于超过12个测量通道的多点传感器，可组合多个单元，我们的研发部门可为您的特定应用准备可行性研究方案。
l 非接触式测量距离和厚度
l 12个同步测量通道
l 大表面测量
l 测量更重要的表面
l 快速和简单集成
共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，STIL开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理STIL干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。可测厚度为μm。
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